300mm半导体设备装载端口要求
- 发布日期：2024-08-23
- 实施日期：2025-03-01
- 状态：即将实施
国家标准《300mm半导体设备装载端口要求》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位上海微电子装备（集团）股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、漳州市太龙照明工程有限公司、深圳市埃芯半导体科技有限公司、苏州镁伽科技有限公司、中电鹏程智能装备有限公司。主要起草人胡松立 、李运锋 ...
基础信息
采标情况
暂无
起草单位
上海微电子装备（集团）股份有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
漳州市太龙照明工程有限公司
苏州镁伽科技有限公司
中国电子技术标准化研究院
中微半导体设备(上海)股份有限公司
深圳市埃芯半导体科技有限公司
中电鹏程智能装备有限公司
起草人
胡松立
李运锋
赵俊莎
周晓锋
朱明
李英
张志勇
乔志新
吴怡然
曹可慰
李殿浦
武小娟
张宝帅
洪峰
王鸣昕
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